AiF-FV-Nummer 18182 N

Realisierung einer Beladungskontrolle von AMC-Filtern durch Entwicklung eines Detektionssystems auf Basis elektrochemisch aktiver Oberflächen - AMC-Control

Status & Laufzeit

Abgeschlossen: 01.05.2014 bis 31.12.2016

Forschungsstellen

  • fem Forschungsinstitut Edelmetalle und Metallchemie
    Katharinenstr. 17, 73525 Schwäbisch Gmünd
    http://www.fem-online.de

  • Institut für Umwelt & Energie, Technik & Analytik e. V.
    Bliersheimer Str. 58 - 60, 47229 Duisburg
    http://www.iuta.de

Zusammenfassung

In modernen Reinräumen ist die Kontrolle molekularer, luftgetragener Verunreinigungen, der sogenannten Airborne Molecular Contaminations (AMC) erforderlich. Als AMC werden alle molekularen (chemische, nichtpartikuläre) Substanzen definiert, die eine schädliche Wir-kung auf das Produkt, den Prozess, die Ausrüstung oder das Personal haben können. Die für die Elimination von AMC eingesetzten adsorptiven bzw. chemisch-reaktiven Gasfilter besit-zen naturgemäß eine begrenzte Abscheidekapazität. Ein Durchbruch tritt bei Überladung bzw. Erschöpfung des Materials in der Regel zunächst unbemerkt auf und führt dann zu erhebli-chem Ausschuss bzw. Produktionsausfällen. Daher müssen AMC-Filter in regelmäßigen Ab-ständen und in der Regel vorsorglich deutlich vor Ende der eigentlich möglichen Nutzungs-dauer gewechselt werden. Im beantragten Forschungsvorhaben soll ein zuverlässiger, kostengünstiger und wartungsfreier on-line Detektor auf Basis elektrochemisch aktiver Oberflächen erarbeitet werden, der eine ausreichend sensitive und selektive Detektion ausgewählter AMC im Luftstrom ermöglicht. Der Detektor soll in das Filter- bzw. Luftreinigungssystem integriert werden und im Sinne eines Frühwarnsystems eine optimale Nutzung teurer AMC Filter und einen erheblich verbesserten Produktschutz ermöglichen. Zur Erreichung des Forschungszieles sollen beim Forschungsinstitut für Edelmetalle und Metallchemie (fem, FS1) geeignete Schichten entwi-ckelt und am Institut für Energie- und Umwelttechnik (IUTA, FS2) hinsichtlich ihrer Eignung getestet werden. Die Ergebnisse werden einem weiten Kreis von potentiellen Herstellern (Galvano- und Messtechnik) und Anwendern (Anbieter und Nutzer von Filter- und Reinraumtechnologien) zugänglich gemacht. Die Reinraumtechnik wiederum ist essentiell für eine ganze Reihe von Zukunfts- und Schlüsseltechnologien mit hochpreisigen Werkstof-fen und Produkten (Informations-, Mikrosystem- und Kommunikationstechnik, Nano- und optische Technologien, Luft- und Raumfahrt u. a.). Insbesondere die zahlreichen KMU unter den Reinraumnutzern verfügen nicht über die erforderliche finanzielle, technische und perso-nelle Ausstattung, um aufwändige AMC-Messungen durchzuführen und Filtersysteme auf ih-re Eignung und Funktionstüchtigkeit zu überprüfen.

Förderhinweis

Das Forschungsvorhaben der Forschungsvereinigung Umwelttechnik wird / wurde über die AiF im Rahmen des Programms zur Förderung der Industriellen Gemeinschaftsforschung und -entwicklung (IGF) vom Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages gefördert.

Dokumente